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四川磁控溅射镀膜机

分类：真空镀膜机

关键词： 四川光刻机四川氢气炉四川真空泵

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大口径磁控溅射镀膜机

分类：真空镀膜机

关键词： 磁控溅射镀膜机

型号：ZCL-700 一、真空室：1. 形式：双腔室结构，中间配置闸板阀。A、溅射室：700（宽）x700(深)x600mm(高)，后开门。配置3个 CF35法兰，轴心指向工作台，用于观测，观测路径上不得有阻挡;另设置φ100mm观测窗一...
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